| 发明名称 |
PROBE STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0968547(A) |
申请公布日期 |
1997.03.11 |
| 申请号 |
JP19960153926 |
申请日期 |
1996.06.14 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORP |
发明人 |
ISHIZAKA HITOSHI;SUGIMOTO MASAKAZU |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;H01L21/321;H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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