发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0969534(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950223477 申请日期 1995.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKESAWA HATSUO;MINAMI SETSURO
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址