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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0967192(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950219157 申请日期 1995.08.28
申请人 SHARP CORP 发明人 SUGAWARA SATOSHI;FURUKAWA MASAKI
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/38;H01L21/205;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):C30B25/14;H01S3/18 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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