发明名称 ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0969510(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950245402 申请日期 1995.08.30
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 ABE TATSUO;SUZUKI MAKOTO
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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