发明名称 PROCESS LEAKAGE WAVE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0968552(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950224847 申请日期 1995.09.01
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KASHIMOTO TAKASHI
分类号 G01R29/08;F24C7/02;G01R31/00;(IPC1-7):G01R29/08 主分类号 G01R29/08
代理机构 代理人
主权项
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