发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING OF CADMIUM OXIDE FILMS
摘要
申请公布号 RU1649956(C) 申请公布日期 1997.03.10
申请号 SU19894722838 申请日期 1989.07.24
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT KHIMII PRI GORKOVSKOM GOSUDARSTVENNOM UNIVERSITETE IM.N.I.LOBACHEVSKOGO 发明人 ALEKSANDROV YU.A.;BARANOV E.A.;DYAGILEVA L.M.;LEBEDEV S.A.;TSYGANOVA E.I.
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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