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发明名称 RESIST APPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0962009(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950215928 申请日期 1995.08.24
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD;HITACHI LTD 发明人 YAO YASUYOSHI;EMOTO TATSUYA;YAMAZAKI SHINYA;OTSU MASAO;SHIBA MITSUAKI;NAMIKI JUNICHI;TSUBOKA TOMOAKI;SASAKI HARUO;ICHIMURA YUKIO
分类号 G03F7/16;B05C11/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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