| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT AND ITS DRY-CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0964019(A) |
申请公布日期 |
1997.03.07 |
| 申请号 |
JP19950221818 |
申请日期 |
1995.08.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
OGAWA MASAAKI;SHIMIZU TOSHIO;FURUYAMA MITSUTOSHI;KUBOTA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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