PLASMA PROCESSING DEVICE,申请号JP19960156141-传众专利搜索

发明名称	PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0969400(A)	申请公布日期	1997.03.11
申请号	JP19960156141	申请日期	1996.05.28
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	NAGASEKI KAZUYA;NAGAHATA KAZUNORI
分类号	H05H1/46;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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