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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0969517(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950223037 申请日期 1995.08.31
申请人 SONY CORP 发明人 MUROYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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