发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0964218(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950217227 申请日期 1995.08.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJII TAIZO;HIRAI TAKEHIRO;FUJINAGA KIYOO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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