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经营范围
发明名称
FABRICATION METHOD OF WIRING FORMATION LAYER
摘要
申请公布号
JPH0964173(A)
申请公布日期
1997.03.07
申请号
JP19950209833
申请日期
1995.08.18
申请人
SONY CORP
发明人
KOYAMA KAZUHIDE
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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