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发明名称 TEMPERATURE CONTROL METHOD OF THERMOCOMPRESSION BONDING DEVICE AND THERMOCOMPRESSION BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964118(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950230677 申请日期 1995.08.17
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 SHIMIZU MITSUYUKI
分类号 H01L21/603;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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