| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD AND DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0963980(A) |
申请公布日期 |
1997.03.07 |
| 申请号 |
JP19950214563 |
申请日期 |
1995.08.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO HISAKO;MASUDA HIROO;KASHU NOBUYOSHI;TSUNENO KATSUMI;AOYAMA JINKO;NAKAMURA TAKAHIDE;SUZUKI TADASHI;KUNITOMO HISAAKI |
| 分类号 |
H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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