发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0964365(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950211741 申请日期 1995.08.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MICHIBAYASHI AKIKO;MIYATA YUTAKA;KAWAMURA TETSUYA;TSUTSU HIROSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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