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发明名称 DRAIN RECOVERY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0963914(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950240854 申请日期 1995.08.25
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 TANIGUCHI HIDEYUKI;MATSUSHITA MASANAO
分类号 H01L21/02;B01J4/00;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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