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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0964164(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950216378 申请日期 1995.08.24
申请人 NITTETSU SEMICONDUCTOR KK 发明人 WADA TOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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