发明名称 PACKAGE DISPLACEMENT DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0961122(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950214327 申请日期 1995.08.23
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AKAZAWA TSUTOMU
分类号 G01B11/02;H01L21/50;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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