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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964380(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19960150682 申请日期 1996.06.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ITOI TAKAO;HONNA MASARU
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/866;(IPC1-7):H01L29/866 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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