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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR FLOATING GATE TYPE NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964211(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950236218 申请日期 1995.08.22
申请人 SONY CORP 发明人 MORIYA HIROYUKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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