发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0963989(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950233342 申请日期 1995.08.18
申请人 NEC CORP 发明人 KITAHATA HIDEKI
分类号 H01L21/28;H01L21/306;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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