| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT END POINT DETECTING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0961344(A) |
申请公布日期 |
1997.03.07 |
| 申请号 |
JP19950240720 |
申请日期 |
1995.08.24 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
FUJIWARA SHIGEAKI;MORIWAKI SATOHIRO |
| 分类号 |
G01B11/06;C23F1/00;G01J1/04;G01N21/27;G02F1/13;G02F1/1333;G02F1/1343;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/27;G02F1/133;G02F1/134;H01L21/306 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
