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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964042(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950236119 申请日期 1995.08.22
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 IKEDA HIDEHIKO
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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