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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964064(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950215770 申请日期 1995.08.24
申请人 NEC CORP 发明人 SAKURA NAOKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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