发明名称 DIELECTRIC ISOLATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0964167(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950210436 申请日期 1995.08.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA TAKASHI;SHIINA KAZUHIRO;SUDA KOICHI;AIZAWA JUNICHI
分类号 H01L21/762;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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