ARCHITECTURE D'INTEGRATION D'UN ELEMENT SENSIBLE DANS UN CAPTEUR DE PRESSION

摘要

Un capteur de pression comprenant un élément sensible à substrat (15) en silicium sur lequel sont fixées des jauges extensométriques (16) logé dans un corps de capteur (10). L'élément sensible est monté sur une base (17) reliée à une partie (10b) métallique du corps de capteur (10) par l'intermédiaire d'un élément (18, 28) déformable élastiquement propre à compenser des différences de dilatation thermique entre la base (17) et l'élément sensible par rapport au corps (10) du capteur. Le capteur comprend en outre des moyens pour limiter le déplacement de l'ensemble constitué de la base (17) et l'élément sensible (18, 28) par rapport au corps du capteur. Ce capteur est ainsi adapté à une utilisation à haute pression et dans un environnement à température haute et variable.