发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0964058(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950218519 申请日期 1995.08.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YANAGIHARA MANABU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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