MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19950221253-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0964041(A)	申请公布日期	1997.03.07
申请号	JP19950221253	申请日期	1995.08.30
申请人	HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD	发明人	KURODA KENICHI;ISHIKAWA TSUGIO;OTANI OSAMU;KOMURO MASAMICHI;HISHIKI MASANOBU
分类号	H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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