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发明名称 RINSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0964004(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950240828 申请日期 1995.08.25
申请人 M SETETSUKU KK 发明人 ITO TAKASHI;SAITO HIROYUKI;KINAMI HARUYUKI;KONAKA TOSHINORI;MURAI TAKESHI
分类号 H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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