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VERFAHREN ZUR WÄSSRIGEN BEHANDLUNG VON ALUMINIUMNITRID UND HERGESTELLTE ZUSAMMENSTELLUNGEN
摘要
申请公布号
DE69305984(T2)
申请公布日期
1997.03.06
申请号
DE19936005984T
申请日期
1993.04.12
申请人
THE DOW CHEMICAL CO. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE), MIDLAND, MICH., US
发明人
HOWARD, KEVIN, E., MIDLAND, MI 48642, US
分类号
B01J13/00;C01B21/072;(IPC1-7):C01B21/072;C04B35/58;H01L21/48
主分类号
B01J13/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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