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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Resiststrukturen
摘要
申请公布号 DE69400675(T2) 申请公布日期 1997.03.06
申请号 DE19946000675T 申请日期 1994.05.24
申请人 NIPPON PAINT CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 SHIRAI, MASAMITSU, IBARAKI-SHI, OSAKA-FU, JP;TSUNOOKA, MASAHIRO, SENNAN-SHI, OSAKA-FU, JP;NISHIJIMA, KANJI, IBARAKI-SHI, OSAKA-FU, JP
分类号 G03F7/004;G03F7/075;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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