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发明名称 Verstelleinrichtung mit Piezoantrieb
摘要
申请公布号 DE59305267(D1) 申请公布日期 1997.03.06
申请号 DE19935005267 申请日期 1993.11.05
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO, 76337 WALDBRONN, DE 发明人 GLOESS, RAINER, DR., D-76307 KARLSBAD, DE;MARTH, HARRY, DR., D-76337 WALDBRONN, DE
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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