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发明名称 Verfahren zum Lesen einer optischen Abbildung einer untersuchten Oberfläche und dafür einsetzbare Bildleseeinrichtung
摘要
申请公布号 DE69124288(D1) 申请公布日期 1997.03.06
申请号 DE19916024288 申请日期 1991.05.29
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 UEMURA, HARUO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD, HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP;HOKI, TETSUO, C/O DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD, HORIKAWA-DORI, KAMIKYO-KU, KYOTO, JP
分类号 G01N21/956;G01R31/309;(IPC1-7):G01N21/88;G01R31/308 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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