| 发明名称 |
Behandlungsanlage, insbesondere UV-Strahlen-Behandlungsanlage |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29515925(U1) |
申请公布日期 |
1997.03.06 |
| 申请号 |
DE19952015925U |
申请日期 |
1995.10.07 |
| 申请人 |
K & W GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERGERAETESERVICE APPLIKATIONS- UND AUTOMATISIERUNGSTECHNIK MBH, 85764 OBERSCHLEISHEIM, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B65G49/07;G03F7/20;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;H01L21/66 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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