| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS USING THIN FILM SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0961190(A) |
申请公布日期 |
1997.03.07 |
| 申请号 |
JP19950239221 |
申请日期 |
1995.08.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
OGURI KAZUYUKI;ONDA TAKASHI;ISHIDA NAOKI |
| 分类号 |
G01K7/16;G01D5/16;G01K7/22;(IPC1-7):G01D5/16 |
主分类号 |
G01K7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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