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发明名称 Resist composition
摘要
申请公布号 EP0469584(B1) 申请公布日期 1997.03.05
申请号 EP19910112888 申请日期 1991.07.31
申请人 NIPPON PAINT CO., LTD. 发明人 MATSUMURA, AKIRA;ISHIKAWA, KATSUKIYO
分类号 G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
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