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发明名称 Improved susceptor
摘要
申请公布号 EP0634786(B1) 申请公布日期 1997.03.05
申请号 EP19940304906 申请日期 1994.07.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BEINGLASS, ISRAEL;VENKATESAN, MAHALINGAM;MINER, GARY E.;GRONET, CHRISTIAN M.
分类号 H01L21/683;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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