| 发明名称 |
SOFT PLASMA IGNITION IN PLASMA PROCESSING CHAMBERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0760160(A1) |
申请公布日期 |
1997.03.05 |
| 申请号 |
EP19940928007 |
申请日期 |
1994.09.06 |
| 申请人 |
MATERIALS RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
LANTSMAN, ALEXANDER D. |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/38;C23C14/40;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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