稳定非晶硅及含稳定非晶硅的器件

摘要

通过独特的等离子淀积工艺，生产可有效防止光诱发退化和电流诱发退化的高品质、高稳定的光电器件和电子器件。通过该独特的等离子淀积工艺，可制造具有高开路电压和高负荷系数及具有较宽带隙的大功率、高效单结和多结太阳能电池。优选的工艺是较低的温度、较高的压力和由有高浓度氢气的硅烷辉光放电。

主权项

1.一种方法，其特征在于包括：通过利用低温、高压等离子增强化学汽相淀积至少制造所说非晶硅的一部分，提高含非晶硅器件的稳定性；所说温度基本上低于250℃，且基本上高于80℃；及所说压力至少为0.5torr。