矽晶蚀刻机之取件手臂之改良

摘要

本创作系为一种矽晶蚀刻机之取件手臂之改良，该取件手臂主要在将蚀刻室内已完成蚀刻之矽晶片取出，而以一感光器感知该取件手臂之动作。其主要在该取件手臂之条纹区附着一层亮度较高之陶瓷层，该陶瓷层除具有防蚀性外，更能增加对光线之反射能力，而能提高矽晶蚀刻机内感光器感应该取件手臂之动作，进而使该矽晶蚀刻机能正确地运作者。

主权项

1. 一种矽晶蚀刻机之取件手臂之改良,该取件手臂之为一夹持孔,以便夹持一驱动轴,其前端为一U型承物板,以便承托矽晶片;该U型承物板设有一条纹区者;其改良特征在:该取件手臂之条纹区表面系附着一层亮度高之陶瓷层,且该陶瓷层表面之最高点不得高于该承物板之表面,对光线之反射系数大于条纹区者。2. 如申请专利范围第1项所述之改良,其中条纹区先经喷砂处理方式减低厚度再于其上附着以陶瓷层者。3. 如申请专利范围第1项所述之改良,其中陶瓷层系以蒸镀方式附着于条纹区表面者。4. 如申请专利范围第1项所述之改良,其中陶瓷之材料系为氧化铝(Al@ss2O@ss3)。图示简单说明:图一为习用者之外观图。图二为图一之2-2剖面图。图三为本创作之外观图。图四为图三之4-4剖面图。