光罩旋转托持装置

摘要

依据本创作之光罩旋转托持装置﹐由于托持盘的第一面与贯穿孔之内周面的处分别形成有用以托持第一光罩的第一凹陷部及用以托持上述第二光罩的第二凹陷部﹐且上述第一凹陷部及第二凹陷部的深度分别对应第一光罩及第二光罩﹐而使上述光罩不会突出上述托持盘的第一面﹐故能够有效地减少扰流的产生﹐并可使反溅及悬浮颗粒减少﹐同时亦可省去调整喷头的角度、雾化能力及目瞄准光罩的位置等。且由于在上述凹陷部设有调整销﹐故能够作光罩之水平度的调整﹐而可提高制作光罩的精确度。又设有光罩夹取凹陷部﹐以利于自动化作业。

主权项

1. 一种光罩旋转托持装置,适用于托持第一光罩及较上述第一光罩大的第二光罩,上述光罩旋转夹持装置包括:一托持盘,具有第一面、第二面及贯穿上述第一面及第二面的贯穿孔,且于上述第一面与上述贯穿孔之内周面的交接处分别形成有用以托持上述第一光罩的复数第一凹陷部及用以托持上述第二光罩的复数第二凹陷部;以及一转动传动部,设置于上述托持盘的第二面,用以带动上述夹持盘旋转。2. 如申请专利范围第1项所述的光罩旋转托持装置,其中上述第一凹陷及第二凹陷部的深度分别对应于上述第一光罩及第二光罩的厚度。3. 如申请专利范围第1或2项所述的光罩旋转托持装置,其中更包括复数第一调整销及第二调整,且于上述托持盘的第一凹陷部及第二凹陷部分别设有用以容纳上述第一调整销及第二调整销的第一销孔及第二销孔。4. 如申请专利范围第3项所述的光罩旋转托持装置,其中上述第一调整销及第二调整销系分别藉由螺丝来固定。5. 如申请专利范围第4项所述的光罩旋转托持装置,其中于上述托持盘的第一面与上述贯穿孔之内周面的交接处设有光罩夹取凹陷部。图示简单说明:第1图系显示习知光罩旋转托持装置的立体图;以及