发明名称 Raster-Mikroskop mit einem Kraftfühler
摘要
申请公布号 DE69212576(T2) 申请公布日期 1997.02.27
申请号 DE1992612576T 申请日期 1992.10.26
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 BETZIG, ROBERT ERIC, CHATHAM, NEW JERSEY 07928, US
分类号 G01B21/30;G01B7/34;G01L1/00;G01Q10/06;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q30/04;G01Q60/06;G01Q60/22;G01Q60/26;G01Q70/18;G02B21/00;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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