| 发明名称 |
Improved defect mapping system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU676058(B2) |
申请公布日期 |
1997.02.27 |
| 申请号 |
AU19940068307 |
申请日期 |
1994.05.10 |
| 申请人 |
MIDWEST RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
BHUSHAN L SOPORI |
| 分类号 |
G01N21/47;G01N21/84;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/47;G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/47 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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