| 发明名称 |
SILICON CARBIDE SPUTTERING TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0759095(A1) |
申请公布日期 |
1997.02.26 |
| 申请号 |
EP19950906170 |
申请日期 |
1995.01.04 |
| 申请人 |
THE CARBORUNDUM COMPANY |
发明人 |
RUPPEL, IRVING B.;KEESE, WILLIAM J. |
| 分类号 |
C04B35/565;C04B35/575;C23C14/06;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C04B35/56 |
主分类号 |
C04B35/565 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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