发明名称
摘要
申请公布号 JP2585050(B2) 申请公布日期 1997.02.26
申请号 JP19880053281 申请日期 1988.03.07
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MORYAMA MASASHI
分类号 H01L21/677;G05B9/02;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址