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发明名称
摘要
申请公布号	JP2584639(B2)	申请公布日期	1997.02.26
申请号	JP19870271937	申请日期	1987.10.29
申请人	FUJITSU LTD	发明人	ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号	H01L21/31;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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