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发明名称 METHOD OF EVALUATING CURRENT-DRIVEN CONDUCTIVE MATERIAL.
摘要
申请公布号 EP0656650(A4) 申请公布日期 1997.02.26
申请号 EP19940918543 申请日期 1994.06.21
申请人 OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO
分类号 G01N27/00;G01R27/02;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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