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经营范围
发明名称
Positive photoresist composition
摘要
申请公布号
EP0672952(B1)
申请公布日期
1997.02.26
申请号
EP19950103871
申请日期
1995.03.16
申请人
FUJI PHOTO FILM CO., LTD.
发明人
KAWABE, YASUMASA;SATO, KENICHIRO;AOAI, TOSHIAKI;UENISHI, KAZUYA
分类号
G03F7/022;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022
主分类号
G03F7/022
代理机构
代理人
主权项
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