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发明名称 Direct Write Film plotting method and apparatus
摘要
申请公布号 EP0426523(B1) 申请公布日期 1997.02.26
申请号 EP19900402913 申请日期 1990.10.17
申请人 ORBOTECH LTD. 发明人 BARAK, SHLOMO;GROSS, ABRAHAM;MALINOVICH, YOKOV
分类号 G03F7/20;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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