| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF TITANIUM NITRIDE THIN FILM AND THIN-FILM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0955360(A) |
申请公布日期 |
1997.02.25 |
| 申请号 |
JP19950227324 |
申请日期 |
1995.08.11 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
KIN ZUIGEN;JINBA HITOSHI;SEKIGUCHI ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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